Verfahren zum Zuführen von Gas bei Gleichzeitiger Unterteilung in Kammerausgasversorgungseinrichtung, die mit einer Strömungssteuerung Ausgestattet Ist
EP1521154
Art A1
6. April 2005
Anmelder: Fujikin Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1521154
- Aktenzeichen
- EP03701808
- Anmeldetag
- 20. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 6. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
452 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Faulkner, Thomas John
London, Großbritannien
451
Patente gesamt
31
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte