Wellenlängenmessgerät mit Verbesserter Beleuchtung für U.v. Gasentladungslaser

EP1521942 Art B1 6. März 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1521942
Aktenzeichen
EP03736659
Anmeldetag
23. Mai 2003
Veröffentlichung
6. März 2013
Erteilung
6. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01J9/02G01J1/42G01J3/26G01J3/02H01S3/225
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Schuster, Thomas, Dipl.-Phys München, Deutschland
122
Patente gesamt
28
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Akustik, Musik & Datenspeicherung Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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