Wellenlängenmessgerät mit Verbesserter Beleuchtung für U.v. Gasentladungslaser

EP1521942 Art B1 6. März 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1521942
Aktenzeichen
EP03736659
Anmeldetag
23. Mai 2003
Veröffentlichung
6. März 2013
Erteilung
6. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01J9/02G01J1/42G01J3/26G01J3/02H01S3/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Schuster, Thomas München, Deutschland
338
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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