Verfahren und Gerät zur Herstellung einer Schutzschicht auf einem Spiegel
EP1522895
Art B1
2. November 2006
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1522895
- Aktenzeichen
- EP04077690
- Anmeldetag
- 29. September 2004
- Veröffentlichung
- 2. November 2006
- Erteilung
- 2. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
van Westenbrugge, Andries
Den Haag, Niederlande
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