System und Verfahren zum Kalibrieren einer Messvorrichtung für den Massendurchfluss
EP1523664
Art A1
20. April 2005
Anmelder: Celerity, Inc., Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1523664
- Aktenzeichen
- EP03734166
- Anmeldetag
- 23. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 20. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/00G01F1/696
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Celerity, Inc.
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schäfer, Wolfgang
Stuttgart, Deutschland
530
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9
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