Verfahren zur Herstellung von Photolackstrukturen
EP1523697
Art B1
5. Dezember 2007
Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1523697
- Aktenzeichen
- EP03765041
- Anmeldetag
- 18. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2007
- Erteilung
- 5. Dezember 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Rückert, Friedrich
Karlsruhe, Deutschland
57
Patente gesamt
21
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Rückert, Friedrich, Dr
NoneKarlsruhe