Lithographische Methode zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1524555 Art B1 13. Februar 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1524555
Aktenzeichen
EP03078271
Anmeldetag
16. Oktober 2003
Veröffentlichung
13. Februar 2008
Erteilung
13. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01J37/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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