Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524557
Art A1
20. April 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT AG 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1524557
- Aktenzeichen
- EP03256498
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 20. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
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