Verfahren zur Reduzierung des Kontaktwiderstandes von Anschlussbereichen in einem Halbleiterbauelement
Anmelder: IMEC, NXP B.V., INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC), Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1524686
- Aktenzeichen
- EP04077815
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 20. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L21/8238H01L21/285
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
NXP B.V.
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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