Anlage zum Bearbeiten von Substraten unter Vakuum

EP1525335 Art B1 12. Oktober 2016

Anmelder: H.E.F., TECMACHINE, Société Anonyme 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1525335
Aktenzeichen
EP03750835
Anmeldetag
23. Juli 2003
Veröffentlichung
12. Oktober 2016
Erteilung
12. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56C23C16/54H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
H.E.F.
TECMACHINE, Société Anonyme
Land
🇫🇷 Frankreich
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