Anlage zum Bearbeiten von Substraten unter Vakuum
EP1525335
Art B1
12. Oktober 2016
Anmelder: H.E.F., TECMACHINE, Société Anonyme 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1525335
- Aktenzeichen
- EP03750835
- Anmeldetag
- 23. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2016
- Erteilung
- 12. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C16/54H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- H.E.F.
TECMACHINE, Société Anonyme - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Vertreten von
Thivillier, Patrick
Saint-Étienne, Frankreich
243
Patente gesamt
31
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Ipsilon
Ipsilon · Bourg-la-Reine
-
Cabinet Laurent & Charras
Cabinet Laurent & Charras · Dardilly