Verfahren und Einrichtung zur Wechselweisen Abscheidung Zweier Materialien durch Kathoden-Zerstäubung

EP1525607 Art A1 27. April 2005

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1525607
Aktenzeichen: EP03735681
Anmeldetag: 25. Juni 2003
Veröffentlichung: 27. April 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00C23C14/35C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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