Verfahren zum Vertikalen Strukturieren von Substraten in der Halbleiterprozesstechnik mittels Inkonformer Abscheidung
EP1525610
Art A1
27. April 2005
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1525610
- Aktenzeichen
- EP03787693
- Anmeldetag
- 21. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 27. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kottmann, Heinz Dieter
München, Deutschland
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