Eine Anordnung, ein lithographischer Apparat und ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1526407 Art A3 22. April 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1526407
Aktenzeichen
EP04077856
Anmeldetag
15. Oktober 2004
Veröffentlichung
22. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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