System und Verfahren zur Anwendung eines Integrierten Systems für ein Digitales Kapazitives Membran-Druckmessgeräts
EP1527327
Art A2
4. Mai 2005
Anmelder: Celerity, Inc., Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1527327
- Aktenzeichen
- EP03731440
- Anmeldetag
- 29. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Celerity, Inc.
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Schäfer, Wolfgang
Stuttgart, Deutschland
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