Lithographisches Gerät sowie Methode zur Herstellung eines Elements
EP1528430
Art A1
4. Mai 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1528430
- Aktenzeichen
- EP03078421
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/00H01J37/18C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir
NoneDen Haag