Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1528432
Art B1
10. März 2010
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT AG 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1528432
- Aktenzeichen
- EP04256584
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 10. März 2010
- Erteilung
- 10. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weenink, Willem
Veldhoven, Niederlande
78
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Leeming, John Gerard
NoneLondon