Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung von Gas für eine Behandlungskammer
EP1529125
Art A2
11. Mai 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1529125
- Aktenzeichen
- EP03764722
- Anmeldetag
- 16. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448C23C16/44H01L21/00B01D7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte