Verfahren zur Steuerung eines Grabenätzprozesses
EP1529193
Art B1
7. Oktober 2009
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1529193
- Aktenzeichen
- EP03785204
- Anmeldetag
- 12. August 2003
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2009
- Erteilung
- 7. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06H01L21/334H01L21/8242
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
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