Verfahren und Verbindungen für das Härten von Photolack in Ätzprozessen
EP1529308
Art A1
11. Mai 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1529308
- Aktenzeichen
- EP03788310
- Anmeldetag
- 31. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01L21/308H01L21/3213H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
Anmelder-Länder
Schwerpunkte