Reinigungs-Gaszusammensetzung zur Reinigung einer Vorrichtung und Reinigungsverfahren
EP1529854
Art B1
24. Dezember 2008
Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1529854
- Aktenzeichen
- EP04256591
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2008
- Erteilung
- 24. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Taiyo Nippon Sanso Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Taiyo Nippon Sanso
Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Smyth, Gyles Darren
London, Großbritannien
281
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14
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