Lithographischer Apparat
EP1530088
Art B1
8. August 2007
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1530088
- Aktenzeichen
- EP04077933
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 8. August 2007
- Erteilung
- 8. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Winckels, Johannes Hubertus F
Den Haag, Niederlande
1.276
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24
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