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EP1531363 Art A1 18. Mai 2005

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1531363
Aktenzeichen
EP04077961
Anmeldetag
27. Oktober 2004
Veröffentlichung
18. Mai 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03B27/62B65D85/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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