Gerät zur Behandlung mittels einen mikrowellenangeregtem Plasma
EP1531487
Art B1
24. August 2011
Anmelder: Ulvac, Inc., Ulvac Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1531487
- Aktenzeichen
- EP04027241
- Anmeldetag
- 17. November 2004
- Veröffentlichung
- 24. August 2011
- Erteilung
- 24. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac, Inc.
Ulvac Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Maureau, Philippe
Lyon, Frankreich
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