Sonde des Fenstertyps, Plasmaüberwachungseinrichtung und Plasmaverarbeitungseinrichtung
EP1531490
Art A1
18. Mai 2005
Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1531490
- Aktenzeichen
- EP03747203
- Anmeldetag
- 28. März 2003
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Japan Science and Technology Agency
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Viering, Hans-Martin
München, Deutschland
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