Verfahren und Vorrichtung zum Chemischen, Mechanischen Und/oder Elektrischen Entfernen von Schichten von Mikroelektronischen Substraten

EP1532222 Art A1 25. Mai 2005

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1532222
Aktenzeichen: EP03791834
Anmeldetag: 27. August 2003
Veröffentlichung: 25. Mai 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14H01L21/321H01L21/3105H01L21/3063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von