Lithographischer Druck mit Polarisiertem Licht

EP1532484 Art A2 25. Mai 2005

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1532484
Aktenzeichen
EP04713708
Anmeldetag
23. Februar 2004
Veröffentlichung
25. Mai 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/54G03B27/72G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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