Kontrolle Dereigenschaften von Bandförmigen Ionenstrahlen eines Ionenimplantationsgeräts

EP1532650 Art A1 25. Mai 2005

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1532650
Aktenzeichen
EP03764775
Anmeldetag
17. Juli 2003
Veröffentlichung
25. Mai 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01J37/147H01J37/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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