Verbesserung des Optischen Wegs, Kompensation von Brennweitenänderungen und Streulichtverminderung in einem Temperaturmesssystem für Rtp-Werkzeug
EP1532666
Art A2
25. Mai 2005
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1532666
- Aktenzeichen
- EP03793265
- Anmeldetag
- 21. August 2003
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G01J5/00G01J5/08G02B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
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