Epitaktischer Wafer und Herstellungsverfahren dafür

EP1533402 Art B1 23. März 2011

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1533402
Aktenzeichen
EP03791221
Anmeldetag
15. August 2003
Veröffentlichung
23. März 2011
Erteilung
23. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land
🇯🇵 Japan

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