Optische Einheit und R Ntgen-Belichtungssystem
EP1533832
Art A1
25. Mai 2005
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1533832
- Aktenzeichen
- EP03733507
- Anmeldetag
- 19. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Volpert, Marcus
München, Deutschland
227
Patente gesamt
29
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte