Dampfphasenepitaxialvorrichtung und Dampfphasenepitaxialverfahren

EP1533834 Art B1 20. November 2013

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1533834
Aktenzeichen
EP02807525
Anmeldetag
16. Oktober 2002
Veröffentlichung
20. November 2013
Erteilung
20. November 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/10C23C16/46C30B25/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan

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