Festk Rperabbildungseinrichtung
EP1533847
Art A1
25. Mai 2005
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1533847
- Aktenzeichen
- EP03733470
- Anmeldetag
- 17. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/322H01L27/146H01L27/148
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Volpert, Marcus
München, Deutschland
227
Patente gesamt
29
Fachgebiete
12
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Weitere Vertreter
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