Automatisiertes Materialhandhabungssystem zur Halbleiterherstellung auf der Basis einer Kombination Vertikaler Karoussells und Overhead-Hebezeugen
EP1535143
Art A1
1. Juni 2005
Anmelder: Murata Machinery, Ltd., BROOKS AUTOMATION, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1535143
- Aktenzeichen
- EP03761012
- Anmeldetag
- 20. März 2003
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Murata Machinery, Ltd.
BROOKS AUTOMATION, INC. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Murata Machinery
Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.
1.507 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Strych, Werner Maximilian Josef
München, Deutschland
151
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Weickmann & Weickmann PartmbB
Weickmann & Weickmann PartmbB · München
-
Maupilier, Didier
NoneBordeaux
-
Winckels, Johannes Hubertus F
NoneDen Haag
-
Winckels, J.H.F., Mr. Ir
NoneDen Haag