Abschlusskappe für das Gasrohr eines Mikrowellen-Plasmagenerators
EP1535303
Art A1
1. Juni 2005
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1535303
- Aktenzeichen
- EP03792005
- Anmeldetag
- 29. August 2003
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
Patente gesamt
25
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte