Substratverarbeitungsvorrichtung
EP1535313
Art B1
31. Oktober 2018
Anmelder: BROOKS AUTOMATION, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1535313
- Aktenzeichen
- EP03765906
- Anmeldetag
- 22. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2018
- Erteilung
- 31. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BROOKS AUTOMATION, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Kanzlei
Cabinet Sébastien Marconnet
Meudon, Frankreich
Kanzlei für gewerblichen Rechtsschutz mit Sitz in Meudon und Paris, berät zu Erfindungen, Patenten und gewerblichem Rechtsschutz.
420
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
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Ipside
Ipside · Bordeaux
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Wolff, Felix, Dr
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