Substratverarbeitungsvorrichtung

EP1535313 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: BROOKS AUTOMATION, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1535313
Aktenzeichen
EP03765906
Anmeldetag
22. Juli 2003
Veröffentlichung
31. Oktober 2018
Erteilung
31. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
BROOKS AUTOMATION, INC.
Land
🇺🇸 USA
Kanzlei
Cabinet Sébastien Marconnet Meudon, Frankreich

Kanzlei für gewerblichen Rechtsschutz mit Sitz in Meudon und Paris, berät zu Erfindungen, Patenten und gewerblichem Rechtsschutz.

420
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