Schnelle Ablagerung bei Niedrigen Dr Cken in einem Kleinen Batch-Reaktor
EP1535314
Art A2
1. Juni 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc., Torrex Equipment Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1535314
- Aktenzeichen
- EP03784884
- Anmeldetag
- 4. August 2003
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Torrex Equipment Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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