Ätzpasten für Siliziumoberflächen und -Schichten

EP1535318 Art B1 8. Juni 2011

Anmelder: Merck Patent GmbH, MERCK PATENT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1535318
Aktenzeichen: EP03798875
Anmeldetag: 8. August 2003
Veröffentlichung: 8. Juni 2011
Erteilung: 8. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L31/0236C09K13/02C09K13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Merck Patent GmbH
MERCK PATENT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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