Verfahren zur Verhinderung der Verschiebung von Ausrichtungsmarkierungen Wahrend einer Schnellen Thermischen Verarbeitung

EP1535325 Art A1 1. Juni 2005

Anmelder: ATMEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1535325
Aktenzeichen
EP03734353
Anmeldetag
2. Juni 2003
Veröffentlichung
1. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/76H01L21/265H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ATMEL CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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