Methode zum Weiterleiten ozoniertes Wasser

EP1535882 Art A1 1. Juni 2005

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1535882
Aktenzeichen
EP04027412
Anmeldetag
18. November 2004
Veröffentlichung
1. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C02F1/467
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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