Verfahren und Vorrichtung zum Elektromechanischen Und/oder Elektrochemisch-Mechanischen Entfernen von Leitendem Material von einem Mikroelektronischen Substrat

EP1536919 Art B1 24. Oktober 2007

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1536919
Aktenzeichen: EP03791962
Anmeldetag: 27. August 2003
Veröffentlichung: 24. Oktober 2007
Erteilung: 24. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B23H5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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