Verfahren zur Verfügungstellung von ozonenthaltendem Wasser

EP1538129 Art B1 11. Januar 2006

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1538129
Aktenzeichen
EP04027411
Anmeldetag
18. November 2004
Veröffentlichung
11. Januar 2006
Erteilung
11. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C02F1/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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