Messmethode und Messapparatur, Belichtungsmethode und Apparatur und Herstellungsmethode von Halbleiterbauelementen
EP1538483
Art B1
6. Oktober 2010
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1538483
- Aktenzeichen
- EP04028147
- Anmeldetag
- 26. November 2004
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2010
- Erteilung
- 6. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Böckelen, Rainer
München, Deutschland
191
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28
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9
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TBK
TBK · München
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TBK-Patent · München