EUV-Beleuchtungssystem und Lithographischer Apparat
EP1538484
Art A1
8. Juni 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1538484
- Aktenzeichen
- EP04078219
- Anmeldetag
- 26. November 2004
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Winckels, Johannes Hubertus F
Den Haag, Niederlande
1.276
Patente gesamt
34
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Winckels, J.H.F., Mr. Ir
NoneDen Haag