Verdampferzufuhrampulle

EP1539336 Art B1 5. Dezember 2012

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1539336
Aktenzeichen
EP03739362
Anmeldetag
1. Juli 2003
Veröffentlichung
5. Dezember 2012
Erteilung
5. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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