Monolithische Sputtertargetanordnung

EP1540031 Art A2 15. Juni 2005

Anmelder: CABOT CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1540031
Aktenzeichen: EP03765699
Anmeldetag: 17. Juli 2003
Veröffentlichung: 15. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CABOT CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von