Verfahren zur Herstellung eines Dünnen Aluminiumoxidfilms
EP1540033
Art A1
15. Juni 2005
Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY, Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1540033
- Aktenzeichen
- EP03766766
- Anmeldetag
- 29. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
Korea Research Institute of Chemical Technology - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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