Verfahren zur Erzeugung eines Musters auf einer Halbleiterscheibe mittels einer Gedämpften Phasenschieberreflexionsmaske

EP1540418 Art A2 15. Juni 2005

Anmelder: MOTOROLA, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1540418
Aktenzeichen
EP02796375
Anmeldetag
7. August 2002
Veröffentlichung
15. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MOTOROLA, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Motorola

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.

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