Manipulationseinrichtung für Retikel

EP1540459 Art B1 27. Mai 2020

Anmelder: BROOKS AUTOMATION, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1540459
Aktenzeichen
EP03788279
Anmeldetag
29. Juli 2003
Veröffentlichung
27. Mai 2020
Erteilung
27. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/673H01L21/677H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
BROOKS AUTOMATION, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Marconnet, Sébastien Cabinet Sébastien Marconnet Meudon, Frankreich
420
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Luft- & Raumfahrttechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Hochbau & Gebäudetechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Cabinet Sébastien Marconnet Meudon, Frankreich

Kanzlei für gewerblichen Rechtsschutz mit Sitz in Meudon und Paris, berät zu Erfindungen, Patenten und gewerblichem Rechtsschutz.

420
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter

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