Lastverriegelungsoptimierungsverfahren und System
EP1540558
Art A2
15. Juni 2005
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1540558
- Aktenzeichen
- EP03752140
- Anmeldetag
- 10. September 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Boyce, Conor
Dublin, Irland
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