Fluidstr Mungsmessung und Proportional-Fluidstr Mungssteuereinrichtung
EP1540562
Art A2
15. Juni 2005
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1540562
- Aktenzeichen
- EP03765744
- Anmeldetag
- 18. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F19/00G01F1/36G05D7/06G01F1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schäfer, Wolfgang
Stuttgart, Deutschland
530
Patente gesamt
27
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte