Flüssigkeitsflusssteuerung und Präzisionsabgabevorrichtung und -System
EP1540705
Art A2
15. Juni 2005
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1540705
- Aktenzeichen
- EP03748950
- Anmeldetag
- 18. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
858
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte